ㅈ | 진공펌프

진공펌프
vacuum pump
용기 중의 공기를 제거하여 진공을 만들기 위해 또는 소정의 진공도로 유지하기 위해 사용되는 기계의 총칭. 많은 종류가 있는데, 실험실적인 소규모용으로 1~10－2mmHg 정도의 진공을 얻는 데는 회전 펌프가 가장 보편적으로 사용되며, 10－3mmHg 이하의 고진공을 얻는 데는 전적으로 확산 펌프가 사용되고 있다.전자는 1mmHg 이하에서 후자는 10－3mmHg 이상에서 배기 속도가 저하하므로, 양자의 성능이 저하하는 10－1~10－2mmHg의 범위에서 성능이 높은 것으로는 부스터 펌프가 사용된다. 공업적으로 사용되는 경우를 대별하면 기계적 진공 펌프, 분사 펌프(이젝터) 및 확산 펌프로 나누어진다.기계적 진공 펌프에는 기계의 왕복, 회전 등의 작용을 이용하는 피스톤 펌프, 회전 펌프가 있으며, 용기 내에서 기체를 퍼내고 이것을 대기압 또는 그것보다 약간 높게 압축하여 배출하는 기계로, 원리적으로는 압축기와 같다. 피스톤 펌프에는 자유 밸브 및 미끄럼 밸브의 2형식이 있으며, 후자는 보다 고진공을 얻을 수 있다. 보통 1단으로 수십mmHg, 2단으로 수mmHg 정도로 사용된다. 회전 펌프에는 다익(多翼) 회전 펌프, 나슈 펌프, 회전 진공 펌프 등이 있으며, 앞의 두 가지는 저진공 대용량의 배기에 적합하고, 액체와 가스와의 혼합물도 흡인 가능하다.회전 진공 펌프(단순히 회전 펌프, 또는 로터리 펌프라고도 한다)에는 게데(Gaede)형, 센코형 및 키니형이 있으며, 도달 진공도는 높지만 게데형, 센코형은 작은 용량에 적합하여 보통 1/2HP 이하이다. 그러나 키니형은 중형 이상의 배기량을 얻을 수 있어 공업적으로 자주 이용되며, 보통은 1mmHg 정도까지의 작업에 사용하는 경우가 많다.